罗茨真空泵的分类及应用

罗茨真空泵简称罗茨泵，是一种无内压缩的旋转变容式真空泵，它是由罗茨鼓风机演变而来的。工业中常用的中罗茨真空泵有罗茨泵和油增压真空泵。罗茨真空泵具有高效节能、低噪音、无泄漏、运行平稳等特点。

罗茨真空泵的分类如下：

　　1.罗茨泵(又称真空泵)

罗茨泵由于工作压力范围不同，可分为直排大气的干式真宅泵和湿式罗茨泵，还有真空罗茨泵(机械增压泵)和高真空多级罗茨泵等。近年来，罗茨泵应用非常广泛。

罗茨泵是一种双转子的容积式真空泵，在泵腔内有两个形状对称的转子在泵腔内做同步相对旋转，形成泵腔内容积的周期重复变化以达到吸气和排气的目的。转子形状有两叶、三叶和四叶的。两个转子彼此朝相反方向旋转，由轴端齿轮驱动同步转动。转子之间彼此无接触，转子与泵腔壁之问也无接触，其问通常有0．15～1．0mm的间隙，泵腔靠间隙来密封。由于罗茨泵泵腔内无摩擦，转子町高速运转，一般为1500～3000r/min，无需用润滑油，可实现较清洁的抽气过程。泵的润滑部位仅限于轴承和齿轮，以及动密封处。

图1 罗茨真空泵

　　罗茨泵有重量轻、体积小、低噪音、效率高、运行快，可抽除含有一定量的灰尘或冷凝物的气体等优点，广泛用于冶金、石油、化工、电子、纺织等工业中。罗茨泵在100～1Pa真空下有较大抽速，弥补了机械泵和蒸气流泵在该压力范围内抽速小的特点，所以又称为机械增压泵。罗茨泵在真空工程领域中应用时，一般与前级泵串联构成机组，在中真空范围，作为机械增压泵来应用；双级或多级罗茨泵机组可获得高真空；对于干式清洁无油的抽气系统多用气冷式罗茨泵机组；对于含水蒸气的被抽系统，多用湿式罗茨泵。

　　2.油增压真空泵

工作压力范围在10～10-2Pa压力区间内，油扩散喷射泵有较大的抽速和较高的最大出口压力，其抽气量是扩散泵的4～20倍，加热功率是扩散泵的2～5倍。油扩散喷射泵在1～0．1Pa下有较大的抽速，由于油扩散喷射泵的工作压力范围正处于油扩散泵和油封机械泵抽气能力下降区域，可弥补真空泵和高真空泵在该压力范围抽速较小的缺点，因此，该泵除可以做主泵外，还常常用于大型油扩散泵和前级机械泵之间，保证真空系统的有效工作。

油扩散喷射泵对惰性气体与其他气体有相同的抽速，并有结构简单、无机械转动部分，便于操作、维护，寿命长等特点。油扩散喷射泵广泛应用于真空感应熔炼、真空电弧熔炼、真空十燥、真空压力浸渍、真空蒸馏等设备上。